Halvleder og instrumentering

Hjem / Ansøgning / Halvleder og instrumentering
Halvleder og instrumentering

Halvleder og instrumentering

Inden for ledende materialer og instrumenteringssektorer fungerer flanger som drejelige komponenter, der samtidig opfylder funktionerne tilslutning, tætning, installationspositionering, termisk styring og forureningsmodstand. I høj-/ultrahøjvakuumsystemer til halvlederprocesser, såsom litografi, ætsning og aflejring, muliggør flanger af typer inklusive KF, CF og ISO standardiserede grænseflader og lækagefri tætning mellem kamre, pumpesamlinger og ventiler. Dette eliminerer kontaminering af urenheder og sikrer derved waferprocess udbytte.